无尘室地板有高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。清洁无尘室首先要控制好污染物，定期检测，

　　无尘室清洁必须用准用的带高效过滤器的吸尘器、无尘拖把、无尘布、专用无尘工具、洁净室专用清洁液。

　　无尘室清洁对每个部位的清洁都规定了一整套的清洁步骤清洁人员都需经专业培训上岗，清洁遵循“从上到下，从里到外”的原则，再按“部分重叠法，沿直线方向”的方法进行清洁。通常，清洁应从最需严格控制洁净度的区域做起，逐渐过渡到级别不高的区域。