其优点还是很多且相当明显的。其一，它可以同时检测同一样品的多种元素，具备多元素同时检出能力。一个样品一经激发，样品中各元素都各自发射出其特征谱线，可以进行分别检测而同时测定多种元素。其二，分析速度快，可以在几分钟内对几十个元素进行定量测定，不需要经过化学处理。其三，选择性好，可以应用于一些化学性质相似的元素的分析，分辨出不同的元素。其四，检出限低，准确度高，可广泛应用于多个领域。其五，无需过多样品，适用于整批样品的多组分测定。

　　当然，ICP光谱仪目前也存在一些局限性。其一，影响谱线强度的因素较多，对标准参比的组分要求较高；其二，元素含量较高的时候，准确度较差；其三，只能用于元素分析，不能进行结构、形态的测定；其四，大多数非金属元素难以得到灵敏的光谱线。

　　目前，ICP光谱仪主要用于微量元素的分析，可分析的元素为大多数金属以及硅、磷、硫等少量非金属，广泛应用于质量控制的元素分析。它不仅可以对超微量元素进行检测，还可以对常量元素进行检测，成为分析仪器领域越来越强有力的研究工具。